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HORIBA質量流量控制器

SEC-400MK3質量流量控制器

產品分類：HORIBA質量流量控制器
產品介紹

 

概要
MARK3系列是在未改變質量流量控制器所必須的品質特性的條件下徹底實現成本降低的量產產品。材質和泄漏規格則與一般型號產品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據重點關注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產、實現了大幅度的成本降低。最適合于定流量、長時間的穩定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
特征
  • 搭載熱感閥
  • 追求成本優勢、實現成本降低

規格

 

SEC-400MK3
 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3
 

氣體接觸部材質

SUS-316、氟化橡膠

閥門類型

NO: 非通電時：開

標準流量量程

10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He

流量控制范圍

5?100％ F.S.(滿量程)

流量精度

±2.0％ F.S.(滿量程)
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